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大族激光:公司在研光刻机已接到少量订单_科技频道_东

发布日期:2020-08-16 05:35   来源:未知   阅读:

集微网消息,8月10日,大族激光在互动平台表示,公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用,目前已接到少量订单。

此前,大族激光也在互动平台表示,公司在研光刻机项目主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,尚未实现销售。

行业周知,高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰ASML公司垄断,一台精密光刻机售价上百亿,而我国半导体行业起步较晚,光刻机技术与ASML的差距非常大。

当前,我国光刻机市场环境中,除了合肥芯硕半导体公司也具备量产200nm光刻机的实力,无锡影幻半导体公司也具备200nm光刻机量产的实力,而上海微电子所生产的90nm光刻机已是目前国内最高技术的光刻机。

随着大族激光在研光刻机项目的有序推进,也为我国光刻机的研发向前推进提供了一点点助力。(校对/Lee)